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真空低溫探針臺

產品簡介

真空低溫探針臺主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本

產品型號:
更新時間:2024-03-27
廠商性質:生產廠家
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品牌鄭科探價格區間面議
自動化度全自動產地類別國產
應用領域電子/電池

   真空低溫探針臺主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本

    真空低溫探針臺的承片臺X/Y/Z三個方向均可在真空環境下調節,其中X方向調節范圍:0-30mm;y方向調節范圍:0-13mm;z方向調節范圍:0-13mm;用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對準檢測點后,即可進行檢測。

 

 

 

1、總體規格

尺寸:650mmW*650mmD*1500mmH(含支架)

自重:約80Kg

2、結構與特點

(1)真空腔體:真空度優于6×10-4Pa。降溫后優于6×10-5Pa。留有2個用戶法蘭接口(可接入氣體或者額外的電纜)

(2)探針控制:標配4個探針臂。調節范圍50mm*50mm*30mm,調節精度優于10um。每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜

(3)顯微鏡模塊:連續變倍單筒顯微鏡,光學放大倍率:1.4X~9X(使用1X附加物鏡時),視頻放大倍率約700倍。可選2X附加物鏡。分辨率優于2um。全高清數字攝像頭,帶同軸照明和環形照明,帶機械調焦和光學調焦

(4)變溫樣品臺:50mm直徑。變溫范圍:80K~400K。控溫穩定性優于±0.02K

(5)可選配接入光纖,可將一根或幾根電學探針替換為光纖

(6)系統直流漏電低于1pA

3、含進口分子泵機組、全量程真空規和智能溫控儀

4、設備照片(因配置不同,照片僅供參考)

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